半導体洗浄工程で使用される超純水、高純度薬品の流量計測に使用されています。本体は強酸、強アルカリにも耐性あるPFA樹脂を採用しています。 USF500S カタログ USF500N/600N/560N カタログ USF600S カタログ 薬液・純水用 フローコントローラフローコントロールバルブ超音波流量計カルマン渦式流量計羽根車式流量計面積式流量計