外部の流量計から現在流量情報を受取り、設定した流量に自動制御を行います。半導体洗浄装置の薬液・純水流量管理に最適です。 FCV-C カタログ 薬液・純水用 フローコントローラフローコントロールバルブ超音波流量計カルマン渦式流量計羽根車式流量計面積式流量計