薬液・純水用

微少域での流量制御を目的に開発されたフローコントローラです。流量調節、瞬間流量表示、外部出力など多彩な機能を搭載しています。

外部の流量計から現在流量情報を受取り、設定した流量に自動制御を行います。半導体洗浄装置の薬液・純水流量管理に最適です。

半導体洗浄工程で使用される超純水、高純度薬品の流量計測に使用されています。本体は強酸、強アルカリにも耐性あるPFA樹脂を採用しています。

障害物の後方に生じるカルマン渦の発生周期が、流量によって変わることを利用した流量計です。シンプル構造で耐久性が高く低価格。

PFAの羽根の回転で流量を計測します。シンプルな計測原理でリーズナブル。出荷実績No.1のモデルです。

オールPFA等の面積式流量計です。強酸、強アルカリに対応し、流れが目視できます。